特許
J-GLOBAL ID：200903011420908196

研磨パッド用ウレタン成形物の製造方法及び研磨パッド用ウレタン成形物

発明者：
木原 勝志

木原 勝志 について

, 
望月 吉見

望月 吉見 について


出願人/特許権者：
富士紡績株式会社

富士紡績株式会社 について


代理人 (1件)： 大野 克躬 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157420
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343412
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ウレタン成形物をスライスして得られる研磨パッドの研磨特性の向上と、研磨パッド間の研磨特性バラツキの少ない研磨パッド用ウレタン成形物を得る。【解決手段】 膨脹させた微小中空球体(A)とイソシアネート基末端ウレタンプレポリマー(B)と活性水素含有化合物(C)に対し水(D)を0.005〜0.5重量%混合し、水(D)による気泡を形成させる研磨パッド用ウレタン成形物の製造方法による。
請求項（抜粋）：
膨脹させた微小中空球体(A)とイソシアネート基末端ウレタンプレポリマー(B)と活性水素含有化合物(C)の混合物に対し、水(D)を0.005〜0.5重量%混合し、成形物中に水(D)による気泡を形成させることを特徴とする研磨パッド用ウレタン成形物の製造方法。
IPC (4件)：
B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622 ,  C08J 5/14 CFF ,  C08L 75:04
FI (3件)：
B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 F ,  C08J 5/14 CFF
Fターム (12件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB10 ,  4F071AA02 ,  4F071AA02X ,  4F071AA53 ,  4F071AA81 ,  4F071AD04 ,  4F071AE01 ,  4F071AF22 ,  4F071AH19 ,  4F071DA20
引用特許：
出願人引用 (3件)

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