特許
J-GLOBAL ID：200903011460699468
微小電子機械システム構造体およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
葛和 清司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-102022
公開番号（公開出願番号）：特開2005-107482
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】光学干渉ディスプレイセルに適合させた微小電子機械システム構造体および製造方法を提供すること。【解決手段】光学干渉ディスプレイセルの構造は、第1の電極、第2の電極およびポストを含む。第2の電極は、材料層で覆われた導体層を含み、第1の電極とほぼ平行に配設されている。サポートは、第1のプレートと第2のプレートの間に配置されて、空隙が形成される。構造を製造する剥離エッチング法において、材料層は、導体層をエッチング剤による損傷から保護する。材料層はまた、空気中の酸素および湿気による損傷から導体層を保護する。【選択図】図5D
請求項（抜粋）：
光学干渉ディスプレイセルにおいて使用するのに適した微小電子機械システム構造体であって、
第1の電極と
第2の電極であって、
第1の材料層、および
該第1の材料層上に配置された、前記第1の電極にほぼ平行な導体層を含む、前記第2の電極と、
前記第1の電極と前記第1の材料層との間に配置された空隙を形成する支持体、とを含み、
前記空隙を形成するために、前記第1の電極と前記第1の材料層との間の犠牲層が、構造剥離エッチング法により除去されるときに、前記第1の材料層が、第2の電極をエッチング剤のエッチングから保護する、前記微小電子機械システム構造体。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2H041AA21
, 2H041AB15
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
