ポジ型ホトレジスト組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-263890
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120914
出願日： 1993年10月21日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】各種基板、特にITO基板に対する密着性の優れたポジ型ホトレジスト組成物を提供する。【構成】ノボラック樹脂およびナフトキノンジアジドスルホン酸エステルを主成分とする感光剤と、メラミン誘導体またはグアナミン誘導体とを含有することを特徴とする、ポジ型ホトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

ノボラック樹脂と、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルを主成分とする感光剤と、メラミン誘導体および/またはグアナミン誘導体からなる密着増強剤とを含有してなることを特徴とする、ポジ型ホトレジスト組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/004 522 , C07D251/18 , C07D251/66 , C08L 61/06 LMR , G03F 7/022 , G03F 7/039 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (11件)

全件表示

前のページに戻る