特許

J-GLOBAL ID：200903011480589359

単結晶保持装置

発明者： 飯田 誠 ,  飯野 栄一 ,  木村 雅規 ,  村岡 正三
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-083322
公開番号（公開出願番号）：特開平10-259088
出願日： 1997年03月17日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 本発明は、引上げ中の単結晶の一部に存在する凹凸部を保持して引上げる装置において結晶を確実に保持し、結晶が破断して落下することのない吊り治具を備えた単結晶保持装置を提供することを目的とする。【解決手段】 原料融液に接触せしめた種結晶を回転させつつ引上げて単結晶を成長させる過程において、前記種結晶と単結晶の直胴部との間に存在する凹凸部を一対の吊り治具の挟持部で保持するようにした単結晶保持装置において、前記吊り治具の挟持部の先端に、単結晶凹凸部表面と直接接触するアタッチメント部材を設け、その材質を耐熱性軟質材料としたことを特徴とする単結晶保持装置。

請求項（抜粋）：

原料融液に接触せしめた種結晶を回転させつつ引上げて単結晶を成長させる過程において、前記種結晶と単結晶の直胴部との間に存在する凹凸部を一対の吊り治具の挟持部で保持するようにした単結晶保持装置において、前記吊り治具の挟持部の先端に、単結晶の凹凸部表面と直接接触するアタッチメント部材を設けたことを特徴とする単結晶保持装置。

IPC (4件)：

C30B 15/32 ,  C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (4件)：

C30B 15/32 ,  C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502 F ,  H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-288191
  
• 単結晶の成長方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-256892   出願人：信越半導体株式会社
• 特開昭62-288191