単結晶の成長方法及び装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：舘野公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-256892
公開番号（公開出願番号）：特開平9-002893
出願日： 1995年09月09日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【課題】高重量の結晶を安全に引き上げると共に、結晶に作用する衝撃を最小限に抑制し、無転位化の単結晶を形成する成長方法及び装置を提供する。【解決手段】種結晶12を吊り具41のワイヤ41aの先端部に取り付け、単結晶部15を引き上げ形成し、その途中で単結晶部15側に形成される凹凸14の凹部16に吊持具44のアーム状部材44aを係着し、アーム状部材44aとワイヤ41aとの受け渡しを円滑に行うべく両者の引き上げ速度を同期制御し、常時一定の引き上げ速度で単結晶部15を引き上げる。

請求項（抜粋）：

種結晶に連なるネック部と拡径部と直胴部とを有する単結晶を成長させる方法であって、前記種結晶に連結される吊り具の引き上げによって前記ネック部と拡径部と直胴部とを形成すると共に、吊り具の上昇により所定の位置まで上昇した前記単結晶表面にある凹凸の凹部に吊持具を係着せしめ、吊り具に掛かる荷重を吊持具に移行させ、以降の引上げを吊持具により行うことを特徴とする単結晶の成長方法。

IPC (3件)：

C30B 15/30 , C30B 15/20 , C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/30 , C30B 15/20 , C30B 29/06 502 F

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-295893
単結晶引上装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-093411 出願人：三菱マテリアル株式会社
特開昭62-288191

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