特許
J-GLOBAL ID：200903011499314989
単結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊藤 求馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-267722
公開番号（公開出願番号）：特開平9-087086
出願日： 1995年09月21日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：
【要約】【課題】 高品質な単結晶を効率よく製造することのできる方法を提供する。【解決手段】 製造しようとする単結晶の原料のガスを種結晶に供給し、種結晶1上に単結晶2を成長させる方法において、種結晶1として、結晶のc軸と単結晶成長面11となる露出端面の法線ベクトル3とのなす角度θが20°≦θ≦55°の範囲にある結晶を用いることで、欠陥が少ない高品質な結晶を大きな体積で得ることができる。
請求項（抜粋）：
製造しようとする単結晶の原料のガスを種結晶に供給し、種結晶上に単結晶を成長させる単結晶の製造方法において、上記種結晶として、結晶のc軸と単結晶成長面となる露出端面の法線ベクトルとのなす角度θが、20°≦θ≦55°の範囲にある結晶を用いることを特徴とする単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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