特許
J-GLOBAL ID：200903011523540138
高周波発振装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-000481
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214698
出願日： 1998年01月05日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【目的】 プラズマ発生用の高周波発振装置を提供する。【構成】 インダクタンスコイルと、キャパシタンス装置と、トランジスタ装置とを有する発振回路が設けられており、前記キャパシタンス装置は、回路内に高周波発振を維持するためコイルと共に動作し、前記トランジスタ装置は発振を駆動するためのものであり、かつソース端子、ドレイン端子およびゲート端子を有し、前記キャパシタンス装置はドレイン端子とソース端子との間でコイルと直列に接続されており、主電圧装置が接続されており、該主電圧装置は、DC主電圧をドレイン端子とソース端子との間に供給し、電力をトランジスタ装置および発振器回路に供給し、さらにフィードバック装置が設けられており、該フィードバック装置は発振に応答し、かつ発振を駆動するためにトランジスタ装置にポジティブフィードバックを与えるようゲート端子に接続されている。
請求項（抜粋）：
高周波発振装置において、インダクタンスコイルと、キャパシタンス装置と、トランジスタ装置とを有する発振回路が設けられており、前記キャパシタンス装置は、回路内に高周波発振を維持するためコイルと共に動作し、前記トランジスタ装置は発振を駆動するためのものであり、かつソース端子、ドレイン端子およびゲート端子を有し、前記キャパシタンス装置はドレイン端子とソース端子との間でコイルと直列に接続されており、主電圧装置が接続されており、該主電圧装置は、DC主電圧をドレイン端子とソース端子との間に供給し、電力をトランジスタ装置および発振器回路に供給し、さらにフィードバック装置が設けられており、該フィードバック装置は発振に応答し、かつ発振を駆動するためにトランジスタ装置にポジティブフィードバックを与えるようゲート端子に接続されている、ことを特徴とする高周波発振装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
