特許

J-GLOBAL ID：200903011541940500

荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビームの照射方法

発明者： 杉山 安彦 ,  萩原 良二 ,  田代 純一
出願人/特許権者： エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-289716
公開番号（公開出願番号）：特開2007-103107
出願日： 2005年10月03日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】 荷電粒子ビームの収差を抑えビーム径を小さくするとともに、低エネルギーで荷電粒子ビームを安定して照射することが可能な荷電粒子ビーム装置及びその照射方法を提供する。また、荷電粒子ビームの量及びエネルギー並びに荷電粒子ビームの集束を自在に調整することが可能な荷電粒子ビーム装置及びその照射方法を提供する。【解決手段】 荷電粒子ビーム装置1は、加速電圧Eを印加された荷電粒子供給部3と、荷電粒子ビームBを引き出し加速させる加速手段4と、荷電粒子ビームBを集束し接地された試料表面Sに照射する集束手段5とを備えている。加速手段4及び集束手段5は、バイポテンシャルレンズ8、9を備える。出射側電極8cと入射側電極9aは、荷電粒子ビームBの極性と異なる極性の電圧を印加する中間加速電源14と接続される。入射側電極8aは引き出し電源11と接続され、出射側電極9cは接地されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

接地された試料表面に荷電粒子ビームを放出し照射する荷電粒子供給部と、 該荷電粒子供給部に接続され、加速電圧を印加する加速電源と、 前記荷電粒子供給部から前記荷電粒子ビームを引き出し、加速させる加速手段と、 該加速手段で加速された前記荷電粒子ビームを集束し、前記試料表面に照射する集束手段とを備えた荷電粒子ビーム装置であって、 前記加速手段及び前記集束手段のそれぞれは、入射側電極、中間電極及び出射側電極の異なる電圧を印加させることが可能である3つの電極が並列されたバイポテンシャルレンズを少なくとも一つ備え、 前記加速手段のバイポテンシャルレンズの出射側電極と、前記集束手段のバイポテンシャルレンズの入射側電極のそれぞれは、前記荷電粒子ビームの極性と異なる極性の電圧を印加する中間加速電源と接続されるとともに、 前記加速手段のバイポテンシャルレンズの入射側電極は該入射側電極に電圧を印加する引き出し電源と接続され、 前記集束手段のバイポテンシャルレンズの出射側電極は接地されていることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/12

FI (2件)：

H01J37/28 B ,  H01J37/12

Fターム (2件)：

5C033CC06 ,  5C033UU02

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平3-26105号公報
  
• 特開昭64-19667号公報
  
• イオンビーム照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-206403   出願人：オリジン電気株式会社, 日本電子株式会社