特許
J-GLOBAL ID：200903011636817314

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置

発明者：
守谷 壮一

守谷 壮一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-065409
公開番号（公開出願番号）：特開2002-264331
出願日： 2001年03月08日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：
【要約】【課題】 流路形成基板に振動板を良好に接合したインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 ノズル開口21に連通する圧力発生室12が画成された流路形成基板10と、該流路形成基板10の一方面側に振動板を介して下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧力発生室12が前記流路形成基板10を貫通することなく形成されていると共に前記振動板が前記流路形成基板10に接合されており、前記流路形成基板10には前記圧力発生室12に連通し前記振動板が接合された面とは反対面側又は側面側に開口する導通孔13を設けると共に、該導通孔13を埋設層16によって塞ぐ。
請求項（抜粋）：
ノズル開口に連通する圧力発生室が画成された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧力発生室が前記流路形成基板を貫通することなく形成されていると共に前記振動板が前記流路形成基板に接合されており、前記流路形成基板には前記圧力発生室に連通し前記振動板が接合された面とは反対面側又は側面側に開口する導通孔が設けられていると共に、該導通孔が埋設層によって塞がれていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (17件)：
2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG29 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AG75 ,  2C057AP02 ,  2C057AP28 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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