特許
J-GLOBAL ID：200903011651582226
液体噴射ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-295339
公開番号（公開出願番号）：特開2004-130558
出願日： 2002年10月08日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】圧電素子保持部内を確実に除湿して密封すると共に、耐久性を向上した液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室12が画成される流路形成基板10と、該流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられる圧電素子300とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法において、前記圧電素子300の設けられた前記流路形成基板10の前記圧電素子300側の面に当該圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態でその空間を密封可能な圧電素子保持部32を有する封止基板30を接合する工程と、前記圧電素子保持部32内を減圧状態で加熱することで除湿する工程と、前記圧電素子保持部32内が除湿された状態で、前記封止基板30に設けられて前記圧電素子保持部32と外部とを連通する封止孔33を樹脂材料34で密封する工程とにより、液体噴射ヘッドを形成する。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記圧電素子の設けられた前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に当該圧電素子の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態でその空間を密封可能な圧電素子保持部を有する封止基板を接合する工程と、前記圧電素子保持部内を減圧状態で加熱することで除湿する工程と、前記圧電素子保持部内が除湿された状態で、前記封止基板に設けられて前記圧電素子保持部と外部とを連通する封止孔を樹脂材料で密封する工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J2/16
, B41J2/045
, B41J2/055
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF65
, 2C057AF70
, 2C057AF93
, 2C057AG42
, 2C057AG91
, 2C057AG94
, 2C057AP25
, 2C057AP34
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
