特許

J-GLOBAL ID：200903011657940086

光ホモダイン干渉計

発明者： 片山 芳喜 ,  大熊 繁 ,  羽根 一博
出願人/特許権者： ブラザー工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-233000
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083608
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 構成を簡略化かつ小型化して外乱の影響を抑え剛性を上げた、試料の表面粗さ計を提供することを目的としている。【構成】 単色光を発生する半導体レーザ2と、偏光方向の違いにより前記単色光の焦点距離を変えて分離する二重焦点レンズ6と、前記分離された単色光の焦点位置をそれぞれ変える対物レンズ8と、前記焦点位置変更手段を経て反射された単色光を干渉させる偏光ビームスプリッタ4と、前記干渉手段によって干渉された単色光の干渉強度を電気信号に変換する光電変換器22および光電変換器24と、電気信号に変換された単色光の強度から試料の表面粗さを算出する信号処理装置26とを備えている。

請求項（抜粋）：

単色光を発生する発光手段と、偏光方向の違いにより前記単色光の焦点距離を変えて分離する光分離手段と、前記分離された単色光の焦点位置をそれぞれ変える焦点位置変更手段と、前記焦点位置変更手段を経て反射された単色光を干渉させる干渉手段と、前記干渉手段によって干渉された単色光の干渉強度を電気信号に変換する光電変換手段と、電気信号に変換された単色光の強度から試料の表面粗さを算出する信号処理手段とを有すること特徴とする光ホモダイン干渉計。