特許

J-GLOBAL ID：200903011726664843

セラミック基板の配線パターン検査装置と方法

発明者： 篠田 龍男
出願人/特許権者： 株式会社住友金属セラミックス
代理人 (1件)： 吉村 博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-092953
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280868
出願日： 1994年04月05日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 セラミック基板の内部配線パターンの断線・短絡を高精度に検査できるセラミック基板の配線パターン検査装置と方法を提供する。【構成】 容量計と、移動側プローブ、および固定側プローブを有し、被検査セラミック基板をカメラで撮像し、該被検査セラミック基板の位置と大きさを検出し、該撮像した画像を画像処理し、該画像データと、予め設定・記憶しておいた設計値に基づく検査用画像データと比較し、該比較データにより、前記被検査セラミック基板における配線パターンの位置を検出し、該検出データにより移動テーブルを駆動して容量測定する装置と方法からなる。

請求項（抜粋）：

セラミック基板の配線パターンの容量を測定して断線・短絡を検査するセラミック基板の配線パターン検査装置であって、容量計と、該容量計の一方の端子に測定電極を切換える切換え手段を介して接続されている電源側プローブと、該容量計の他方の端子に接続されている測定側プローブと、前記被検査セラミック基板を撮像し、該被検査セラミック基板の位置と大きさを検出するカメラと、該カメラで撮像した画像を画像処理し、該画像データと、予め設定・記憶しておいた設計値に基づく検査用画像データと比較する画像処理部と、該画像処理部で得られた比較データにより、前記被検査セラミック基板における配線パターンの位置を検出し、該検出データにより移動テーブルを駆動するX,Y,Z,θコントローラを有することを特徴とするセラミック基板の配線パターン検査装置。

IPC (2件)：

G01R 31/02 ,  G01R 27/26

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-331304
  
• 回路配線パターンの検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-264364   出願人：日本電気株式会社