特許
J-GLOBAL ID：200903011750973067
導波路型光素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-264574
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101949
出願日： 2002年09月10日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】熱光学効果を用いた光位相シフタでの熱拡散を抑制し、所望の光周波数特性を得ることが容易となる可変利得等化器や分散補償器を実現することができる導波路型光素子を提供する。【解決手段】光が入出力される基板9上の入力/出力用のチャネル導波路1,2の間に、光の合分波を行う合分波器6a,6bを介して複数のチャネル導波路7を接続すると共に、合分波器6a,6bを介さずにチャネル導波路4を接続した光導波構造を形成する。また、少なくとも一部のチャネル導波路4,7の上に、電流の供給により熱を発生するヒータ8を形成する。更に、ヒータ8が形成されたチャネル導波路4,7の両側にチャネル導波路4,7に沿って溝11を形成し、この両側に溝11を形成したチャネル導波路4,7の下に、その両側の溝11に繋がる空隙を形成する。そして、ヒータ8から発生する熱を、両側の溝11及び空隙により遮断する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光が入出力される基板上の導波路間に、光の合分波を行う合分波器を介して複数のチャネル導波路を接続すると共に前記合分波器を介さずにチャネル導波路を接続した光導波構造を形成し、少なくとも一部の前記チャネル導波路の上に、電流の供給により熱を発生するヒータを形成して成る導波路型光素子において、
前記ヒータが形成されたチャネル導波路の両側に前記チャネル導波路に沿って溝を形成し、前記両側に溝を形成したチャネル導波路の下に、その両側の溝に繋がる空隙を形成した
ことを特徴とする導波路型光素子。
IPC (1件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2H079AA06
, 2H079AA12
, 2H079BA01
, 2H079BA03
, 2H079CA05
, 2H079CA07
, 2H079EA03
, 2H079EA05
, 2H079EB27
