電子線分析装置及び電子線分析方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-325059
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172492
出願日： 1996年12月05日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】分析位置ずれのない正確な元素分析を行うことができる電子線分析装置を提供する。【解決手段】検出効率が高い二次電子あるいは透過電子等の位置検出手段により試料変位量を計測して特性X線あるいはオージェ電子による分析を行う位置を補正する。

請求項（抜粋）：

電子線を試料に照射し、試料から発生する特性X線あるいはオージェ電子を検出して試料の元素組成を分析する電子線分析装置において、特性X線あるいはオージェ電子より検出効率が高い位置検出手段により試料変位量を計測して分析位置を補正することを特徴とする電子線分析装置。

IPC (5件)：

H01J 37/252 , H01J 37/20 , H01J 37/28 , G01N 23/225 , G01N 23/227

FI (6件)：

H01J 37/252 A , H01J 37/252 Z , H01J 37/20 Z , H01J 37/28 Z , G01N 23/225 , G01N 23/227

引用特許：

審査官引用 (11件)

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