特許
J-GLOBAL ID：200903011785318460
マスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大澤 斌 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-031844
公開番号（公開出願番号）：特開2002-235165
出願日： 2001年02月08日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：
【要約】【課題】 パターン開口の熱変形がなく、マスク精度の高い大型マスクを提供する。【解決手段】 本マスク10は、蒸着法によってガラス基板上に所定形状の金属膜を形成する際に使用する蒸着マスクであって、順次、端部で相互に連結された第1から第4のフレーム部材12、14、16及び18を四辺に有する長方形のフレーム20と、第1及び第3のフレーム部材12、16に両端部が連結され、相互に離隔してy軸方向に延在する多数本のマスクストライプ22とを備える。マスクストライプ22は、同じ幅の帯状部材であって、同じ間隔ですだれ状に配列され、相互に隣合うマスクストライプ22によって多数個の同じ幅で同じ長さを有する帯状パターン開口24が区画されている。各マスクストライプ22の一方の端部22aは、引っ張り力を有するコイルバネ26を介して第1のフレーム部材12に連結されている。
請求項（抜粋）：
順次、端部で相互に連結された第1から第4のフレーム部材を四辺に有するフレームと、第1及び第3のフレーム部材に両端部が連結され、相互に離隔して第1及び第3のフレーム部材を結ぶ方向に延在する複数本のマスクストライプとを備え、相互に隣合うマスクストライプによって複数個の所定形状のパターン開口を区画するようにしたマスクであって、各マスクストライプの一方の端部は、引っ張り力を有する弾性体を介して第1及び第3のフレーム部材のいずれか一方に連結されていることを特徴とするマスク。
IPC (4件)：
C23C 14/04
, H05B 33/10
, H05B 33/12
, H05B 33/14
C23C 14/04 A
, H05B 33/10
, H05B 33/12 B
, H05B 33/14 A
3K007BA06
, 3K007CB01
, 3K007DA02
, 3K007EA02
, 3K007EB00
, 3K007FA01
, 4K029HA03
, 4K029HA04
