光開始剤、感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-205028
公開番号（公開出願番号）：特開平7-271028
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】優れた感光特性を示す感光性組成物および感光材料を提供する光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法を提供する。【構成】下記の式(I)で示される3-置換クマリン化合物【化1】(式中、R1、R2、R3、R4およびR5は、水素原子、1個の炭素数1から5のアルキル基で置換されたアミノ基等、R6はフェニル基等)、下記の式(II)で示されるチタノセン化合物【化2】(式中、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15およびR16は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルコキシ基または複素環)および下記の式(III)で示されるN-アリール-α-アミノ酸【化3】(式中、R17、R18、R19、R20およびR21は水素、ハロゲン原子等)を含有してなる光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料およびこの感光材料を用いたパターンの製造法。

請求項（抜粋）：

下記の式(I)で示される3-置換クマリン化合物【化1】(式中、R1、R2、R3、R4およびR5は、水素原子、1個の炭素数1から5のアルキル基で置換されたアミノ基、2個の炭素数1から5のアルキル基で置換されたアミノ基、炭素数1から5のアルコキシ基、アシルオキシ基、アリール基、ハロゲン原子または炭素数1から5のチオアルキル基であり、R6はフェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、チエニル基、ベンゾフリル基、フリル基、ピリジン基、クマリニル基、アミノ基、炭素数1から5のアルキル基で置換されたアミノ基、シアノ基、炭素数1から5のアルコキシ基、炭素数1から5のアルキル基、ハロゲン原子、ハロアルキル基、ホルミル基、炭素数1から5のアルコキシカルボニル基または炭素数1から5のアシルオキシ基であり、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、チエニル基、ベンゾフリル基、フリル基、ピリジン基およびクマリニル基は炭素数1から5のアシル基で置換されてもよい)、下記の式(II)で示されるチタノセン化合物【化2】(式中、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15およびR16は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルコキシ基または複素環である)および下記の式(III)で示されるN-アリール-α-アミノ酸【化3】(式中、R17、R18、R19、R20およびR21は水素原子、ハロゲン原子、炭素数1から4のアルキル基、シアノ基または炭素数1から4のアルキルスルホン基であって、R22は水素原子、炭素数1から12のアルキル基、シクロアルキル基、炭素数1から12のヒドロキシアルキル基、炭素数2から12のアルコキシアルキル基、炭素数1から12のアミノアルキル基またはアリール基であり、R23およびR24は水素原子または炭素数1から8のアルキル基であり、R17、R18、R19、R20、R21、R22、R23およびR24は同一でもよい)を含有してなる光開始剤。

IPC (9件)：

G03F 7/028 , G03F 7/004 503 , G03F 7/008 , G03F 7/027 502 , G03F 7/027 504 , G03F 7/027 514 , G03F 7/038 504 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (2件)：

H01L 21/30 502 R , H01L 21/30 561

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-223759
ポリイミド系感光性カバーコート剤
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-350325 出願人：チッソ株式会社
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-172343 出願人：日立化成工業株式会社

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