特許
J-GLOBAL ID：200903011807242030
蛍光X線分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-374052
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193613
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 波長分散型検出手段による蛍光X線の測定強度と、エネルギ分散型検出手段による蛍光X線の測定強度とを、個別の試料に依存しないそれぞれの検出系に固有の予め求めてある感度係数を乗ずるだけで、そのまま対比して使用できるために分析精度が向上し、かつエネルギ分散型検出手段の感度を十分に得ることができる蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】 試料1の被測定部1aに一次X線3を照射し、この被測定部1aから発生する蛍光X線5を検出手段で検出して分析する蛍光X線分析装置であって、検出手段として、分光器8および第1検出器9を有する波長分散型検出手段6と、エネルギ分散型の第2検出器12を有するエネルギ分散型検出手段11とを備え、試料1の被測定部1aと分光器8との間の第1の蛍光X線の通路81が試料1の表面となす角度θ1と、試料1の被測定部1aとエネルギ分散型の検出器12との間の第2の蛍光X線の通路82が試料1の表面となす角度θ2とが等しく、第2の蛍光X線の通路82が第1の蛍光X線の通路81よりも短い。
請求項（抜粋）：
試料の被測定部に一次X線を照射し、この被測定部から発生する蛍光X線を検出手段で検出して分析する蛍光X線分析装置であって、前記検出手段として、分光器および第1検出器を有する波長分散型検出手段と、エネルギ分散型の第2検出器を有するエネルギ分散型検出手段とを備え、前記試料の被測定部と前記分光器との間の第1の蛍光X線の通路が前記試料の表面となす角度と、前記試料の被測定部と前記エネルギ分散型の第2検出器との間の第2の蛍光X線の通路が前記試料の表面となす角度とが等しく、前記第2の蛍光X線の通路が前記第1の蛍光X線の通路よりも短い蛍光X線分析装置。
Fターム (21件)：
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001EA02
, 2G001EA03
, 2G001EA08
, 2G001EA20
, 2G001GA01
, 2G001JA05
, 2G001JA06
, 2G001JA11
, 2G001JA14
, 2G001JA20
, 2G001KA01
, 2G001KA13
, 2G001PA11
, 2G001PA12
, 2G001SA01
, 2G001SA02
審査官引用 (2件)
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蛍光X線分析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-179088
出願人：株式会社神戸製鋼所
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特開平2-038850
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