特許
J-GLOBAL ID：200903011808250613
静電容量型変位センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-260972
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071301
出願日： 2000年08月30日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：
【要約】【課題】変位検出方向の寸法を小さくできる静電容量型変位センサの提供。【解決手段】先端に触針20を備えた棒状の測定子16は、支点18を中心として揺動自在に支持されている。測定子16の基端部には円弧状の可動電極22が取り付けられており、その可動電極22の両端はそれぞれ円弧状に湾曲した筒状の固定電極24A、24B内に挿入されている。触針20が変位すると、その変位量に応じて測定子16が揺動する。この結果、可動電極22が固定電極24A、24B内を移動して、各固定電極24A、24Bとの間に形成される静電容量CA 、CB が変化する。この2つの静電容量CA 、CB の差を差動出力として検出し、その差動出力に基づいて触針の変位量を検出する。
請求項（抜粋）：
支点を中心として揺動自在に支持された棒状の測定子と、前記測定子の先端部に設けられた触針と、前記測定子の基端部に配置された一対の筒状の固定電極と、前記測定子の基端部に設けられ、一端が一方の固定電極内に挿入されるとともに、他端が他方の固定電極内に挿入され、前記測定子の揺動に応じて前記一対の固定電極内を移動する棒状の可動電極と、からなり、一方の固定電極と可動電極との間に形成される静電容量と、他方の固定電極と可動電極との間に形成される静電容量との差を差動出力として検出し、その差動出力に基づいて前記触針の変位量を検出することを特徴とする静電容量型変位センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 7/00 K
, G01B 7/00 U
, G01D 5/24 C
2F063AA02
, 2F063CA34
, 2F063DA02
, 2F063DA05
, 2F063HA06
, 2F063HA12
, 2F063LA30
, 2F077CC01
, 2F077HH02
, 2F077HH04
, 2F077HH11
, 2F077TT00
, 2F077TT06
, 2F077TT11
