特許

J-GLOBAL ID：200903011815380026

レーザ超音波検査装置およびこれを備えたシステム

発明者： 露木 陽 ,  落合 誠 ,  黒田 英彦 ,  三浦 崇広 ,  土橋 健太郎 ,  長方 深 ,  吉田 昌弘
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (4件)： 波多野 久 ,  関口 俊三 ,  猿渡 章雄 ,  古川 潤一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-199465
公開番号（公開出願番号）：特開2007-017297
出願日： 2005年07月07日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：

【課題】検査対象の欠陥の検出のために欠陥検出手段に入力されるデータを選択的に減少させ、そのデータを記録する記憶容量やデータ解析時間の減少を図ったレーザ超音波検査装置およびこれを備えたシステムを提供する。【解決手段】検査対象11にレーザ光を照射して表面波を励起させる変調光源12と、このレーザ光照射位置に対して既知の距離離間Lした位置Mにてレーザ光を照射する一方、そのレーザ光の反射光を受光することにより、欠陥部23があったときに、この欠陥部で発生する欠陥波22a,22bを含む表面波19を検出する表面波検出装置13と、変調光源の出力信号と同期させた表面波検出装置からの表面波検出信号sigを所定時間記録し、この表面波検出信号に基づいて欠陥部23を検出する欠陥検出装置14と、を具備している。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

検査対象にレーザ光を照射して表面波を励起させる表面波送信手段と、 この表面波送信手段のレーザ光照射位置に対して既知の距離離間した位置にて前記検査対象にレーザ光を照射する一方、そのレーザ光の反射光を受光することにより、前記検査対象に欠陥部があったときに、この欠陥部で発生する欠陥波を含む表面波を検出する表面波受信手段と、 前記表面波受信手段からの表面波検出信号を前記表面波送信手段の出力信号と同期した時刻から所定時間記録し、この表面波検出信号に基づいて前記欠陥部を検出する欠陥検出手段と、 を具備していることを特徴とするレーザ超音波検査装置。

IPC (1件)：

G01N 29/00

FI (1件)：

G01N29/00 501

Fターム (9件)：

2G047BC07 ,  2G047BC10 ,  2G047CA04 ,  2G047CB03 ,  2G047DB12 ,  2G047GA19 ,  2G047GA21 ,  2G047GD00 ,  2G047GF22

引用特許：

審査官引用 (1件)

• レーザー超音波検査装置および検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-201474   出願人：株式会社東芝