レーザー超音波検査装置および検査方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：猪股祥晃 , 菊池治 , 猪股弘子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-201474
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043139
出願日： 2003年07月25日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】狭隘部に存在する複数あるいは広い面積の検査対象を感度よく効率的に検査することのできるレーザー超音波検査方法および装置を提供する。【解決手段】第1のレーザー光PLを発振する第1のレーザー光源1と、前記第1のレーザー光を被検査材3に照射する照射手段2と、第2のレーザー光ILを発振する第2のレーザー光源と、前記第2のレーザー光を前記被検査材表面に照射し、その反射成分を受光する照射・集光手段M6と、前記照射・集光手段で集光された前記反射成分から前記第1のレーザー光の照射によって前記被検査材に発生した超音波に関する信号を光学的に検出する受信用光学系M1と、前記受信用光学系において受信された超音波信号を電気信号に変換する信号変換手段RECと、前記信号変換手段の出力信号を信号処理し、超音波の伝播と前記被検査材の特性に関する情報を演算し表示し記録する信号処理手段41とを備えた構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1のレーザー光を発振する第1のレーザー光源と、前記第1のレーザー光を被検査材に照射する照射手段と、第2のレーザー光を発振する第2のレーザー光源と、前記第2のレーザー光を前記被検査材表面に照射し、その反射成分を受光する照射・集光手段と、前記照射・集光手段で集光された前記反射成分から前記第1のレーザー光の照射によって前記被検査材に発生した超音波に関する信号を光学的に検出する受信用光学系と、前記受信用光学系において受信された超音波信号を電気信号に変換する信号変換手段と、前記信号変換手段の出力信号を信号処理し、超音波の伝播と前記被検査材の特性に関する情報を演算し表示し記録する信号処理手段とを備えたレーザー超音波検査装置において、前記照射手段と前記照射・集光手段を制御駆動し前記第1のレーザー光の発振と同期して前記被検査材上への前記第1、第2のレーザー光の照射位置をその相対的な位置関係を保持しつつ所定の範囲、所定の刻み幅で移動させ走査するする走査手段と、前記第1、第2のレーザー光の照射位置を検知する位置検知手段とを備え、前記信号処理手段は、前記走査に伴う各位置で検出された超音波信号と前記位置検知手段で検知された位置情報から、前記被検査材の材料特性を演算し表示することを特徴とするレーザー超音波検査装置。

IPC (2件)：

G01N29/00 , G21C17/003

FI (2件)：

G01N29/00 501 , G21C17/00 F

Fターム (11件)：

2G047BC02 , 2G047BC07 , 2G047CA04 , 2G047GA19 , 2G047GD01 , 2G047GG38 , 2G075AA02 , 2G075CA07 , 2G075DA16 , 2G075FA16 , 2G075GA21

引用特許：

審査官引用 (3件)

レーザ超音波検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-055948 出願人：株式会社東芝
レーザ超音波検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-137756 出願人：株式会社東芝
超音波診断装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-365367 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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