粘着剤組成物およびその利用方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-030172
公開番号（公開出願番号）：特開平10-226776
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】ウエハ裏面の研摩時に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために用いられるウエハ表面保護シートに好適に用いられ、特に粘着シート剥離時の剥離帯電圧が非常に小さく、しかも粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるような粘着剤組成物を提供することを目的としている。【解決手段】本発明に係る粘着剤組成物は、(A)(a)カルボキシル基含有重合性モノマーと、(b)該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られるカルボキシル基含有共重合体と、(B)中和剤と、(C)架橋剤とからなることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

(A)(a)カルボキシル基含有重合性モノマーと、(b)該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られるカルボキシル基含有共重合体と、(B)中和剤と、(C)架橋剤とからなることを特徴とする粘着剤組成物。

IPC (7件)：

C09J157/10 , C09J 7/02 , C09J133/02 , C09J133/14 , C09J163/00 , C09J175/04 , H01L 21/304 321

FI (7件)：

C09J157/10 , C09J 7/02 Z , C09J133/02 , C09J133/14 , C09J163/00 , C09J175/04 , H01L 21/304 321 B

引用特許：

出願人引用 (5件)

ウエハ表面保護シートおよびその利用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-338626 出願人：リンテック株式会社
特開昭63-296222
特公平5-077284

全件表示

審査官引用 (6件)

ウエハ表面保護シートおよびその利用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-338626 出願人：リンテック株式会社
特開昭63-296222
特公平5-077284

全件表示

前のページに戻る