特許
J-GLOBAL ID：200903011861503078
形状測定装置及びその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-337373
公開番号（公開出願番号）：特開平11-173835
出願日： 1997年12月08日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】大きな形状誤差を有する被測定物の形状を精度よく測定できる形状測定装置及びその方法を提供する。【解決手段】被測定物の取り付け位置を示す球面を3ヵ所設け、その球面の中心点を測定することにより、「装置座標系」で測定した測定点群を「被測定物座標系」での位置の表現に変換する座標変換行列を求め座標を変換する、即ち被測定物の取り付け誤差を計算する。
請求項（抜粋）：
被測定物に設けられた複数の球面の各中心位置を測定する中心測定手段と、前記中心測定手段により測定された各中心位置から、被測定物の取付誤差を算出する誤差算出手段と、前記被測定物の形状を測定する形状測定手段と、前記形状測定手段による測定データを前記誤差算出手段による誤差データを用いて補正する補正手段と、前記補正手段により補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出する形状算出手段とを具備することを特徴とする形状測定装置。
引用特許：
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