形状測定装置、及びそれを用いた被測定面の位置決め方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平田忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-046251
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243304
出願日： 1996年03月04日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 z軸回りに非対称な形状を持つ被測定面の高精度な位置決めができない。【解決手段】 3次元直交座標系(x,y,z)に基づいて位置基準治具3に形成されたマーク3A,3B及び3Cをプローブ5のスタイラス5aで1回走査し、このマーク位置検出信号に基づいて基準面2と測定座標系とを一致させる。

請求項（抜粋）：

3次元直交座標系(x,y,z)に基づく基準面、及び前記基準面に対して既知の座標位置を有する複数のマークを形成された走査面を有するデータムと、前記データムの前記走査面を走査することにより前記マークを検出してマーク検出信号を出力する走査手段と、前記マーク検出信号に基づいて被測定物の形状を測定するための測定座標系と前記3次元直交座標系(x,y,z)との位置関係を演算する演算手段と、前記基準面を前記位置関係に基づいて前記測定座標系に一致させる一致手段を有することを特徴とする形状測定装置。

IPC (4件)：

G01B 5/20 , G01B 21/20 101 , G01M 11/00 , G01N 37/00

FI (4件)：

G01B 5/20 Z , G01B 21/20 101 Z , G01M 11/00 L , G01N 37/00 A

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