特許
J-GLOBAL ID：200903011903950894

パターン形成方法、薄膜トランジスタ、表示装置及びそれらの作製方法、並びにテレビジョン装置

発明者：
藤井 厳

藤井 厳 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-037192
公開番号（公開出願番号）：特開2005-268761
出願日： 2005年02月15日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】 本発明は、材料の利用効率を向上させ、かつ、作製工程を簡略化して作製可能な表示装置及びその作製技術を提供することを目的とする。また、それらの表示装置を構成する配線等のパターンを、所望の形状で制御性よく形成できる技術を提供することも目的とする。【解決手段】 本発明のパターン形成方法の一は、第1の領域及び第2の領域を形成し、第2の領域から第1の領域にわたってパターン形成材料を含む組成物を吐出し、第1の領域に吐出した組成物の一部を、第2の領域に流動させ、組成物に対するぬれ性は、第1の領域より第2の領域が高い。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の領域及び第2の領域を形成し、 前記第2の領域から前記第1の領域にわたってパターン形成材料を含む組成物を吐出し、 前記第1の領域に吐出した前記組成物の一部を、前記第2の領域に流動させ、 前記組成物に対するぬれ性は、前記第1の領域より前記第2の領域が高いことを特徴とするパターン形成方法。
IPC (5件)：
H01L29/786 ,  H01L21/027 ,  H01L21/288 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/336
FI (5件)：
H01L29/78 617J ,  H01L21/288 Z ,  H01L21/30 502D ,  H01L29/78 627C ,  H01L21/88 B
Fターム (124件)：
4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB18 ,  4M104BB30 ,  4M104BB36 ,  4M104CC05 ,  4M104DD21 ,  4M104DD51 ,  4M104DD52 ,  4M104DD53 ,  4M104DD75 ,  4M104DD78 ,  4M104DD80 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH14 ,  5F033GG04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH19 ,  5F033HH31 ,  5F033HH33 ,  5F033HH35 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ13 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ31 ,  5F033JJ33 ,  5F033JJ35 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK07 ,  5F033KK08 ,  5F033KK11 ,  5F033KK13 ,  5F033KK14 ,  5F033KK19 ,  5F033KK31 ,  5F033KK33 ,  5F033KK35 ,  5F033KK38 ,  5F033NN03 ,  5F033PP26 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ00 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ52 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ82 ,  5F033QQ83 ,  5F033QQ85 ,  5F033QQ99 ,  5F033VV15 ,  5F033XX03 ,  5F033XX33 ,  5F046AA28 ,  5F110AA16 ,  5F110AA30 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE28 ,  5F110EE42 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF07 ,  5F110FF09 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG05 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK07 ,  5F110HK09 ,  5F110HK32 ,  5F110HK35 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110PP03 ,  5F110PP29 ,  5F110PP34 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ03 ,  5F110QQ19
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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