特許

J-GLOBAL ID：200903011922217677

太陽電池電極用検査装置及び太陽電池電極の検査方法

発明者： 生島 聡之 ,  大塚 寛之 ,  石川 直揮
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社 ,  信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-250375
公開番号（公開出願番号）：特開2008-071989
出願日： 2006年09月15日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：

【課題】複層構造の電極を有する太陽電池において、太陽電池製造における歩留の向上をするため、複層電極形成工程後の電極品質を精度良く検査する方法及びその検査装置を提供する。【解決手段】太陽電池に形成されたフィンガー電極3を検査する太陽電池電極用検査装置において、少なくとも、フィンガー電極3に電流供給端子4を介して電流を供給するための電流電源と、フィンガー電極3の所望区間内における電位差を電圧測定端子5を介して測定するための電圧測定器を有し、電圧測定端子5は、所望区間内の電位差を測定する位置に配置され、電流供給端子4は、電圧測定端子5を挟む位置に配置されるものであり、電流値と電位差からフィンガー電極3の所望区間内における抵抗値を求めるための抵抗計算器と、求められた抵抗値からフィンガー電極3の導通を判定するための判定装置とを具備するものであることを特徴とする太陽電池電極用検査装置。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

太陽電池に形成されたフィンガー電極を検査する太陽電池電極用検査装置において、少なくとも、 前記フィンガー電極に電流供給端子を介して電流を供給するための電流電源と、 前記フィンガー電極の所望区間内における電位差を電圧測定端子を介して測定するための電圧測定器を有し、 前記電圧測定端子は、前記フィンガー電極の所望区間内の電位差を測定する位置に配置され、前記電流供給端子は、前記電圧測定端子を挟む位置に配置されるものであり、 前記電流値と前記電位差から前記フィンガー電極の所望区間内における抵抗値を求めるための抵抗計算器と、 該抵抗計算器で求められた前記抵抗値から前記フィンガー電極の導通を判定するための判定装置とを具備するものであることを特徴とする太陽電池電極用検査装置。

IPC (1件)：

H01L 31/04

FI (1件)：

H01L31/04 K

Fターム (10件)：

5F051AA02 ,  5F051BA14 ,  5F051CB12 ,  5F051CB19 ,  5F051CB20 ,  5F051CB27 ,  5F051FA14 ,  5F051FA16 ,  5F051GA04 ,  5F051KA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 透明電極膜基板の検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-172511   出願人：三菱重工業株式会社

審査官引用 (2件)

• 電極及び光起電力素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-107079   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭60-116181