特許
J-GLOBAL ID：200903001338280086

透明電極膜基板の検査装置

発明者：
飯田 政巳

飯田 政巳 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (4件)： 光石 俊郎 ,  光石 忠敬 ,  田中 康幸 ,  松元 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-172511
公開番号（公開出願番号）：特開2004-020254
出願日： 2002年06月13日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：
【課題】透明電極膜基板に付着した異物や発生したピンホールを自動的に検査する。【解決手段】薄膜太陽電池用の透明電極膜基板Wは、搬送コンベア1により搬送される。透明電極膜基板Wの表面は、ライン照明器3により照明され、カラーラインセンサカメラ2にて撮影され、カラー画像信号Cが画像処理装置7に送られる。画像処理装置7は、カラー画像信号Cから二次元画像を得て、この二次元画像を画像処理して、欠陥に対応する欠陥画像を求める。欠陥画像の面積が設定面積以上であるときには、欠陥(異物付着やピンホール発生)があると判定する。しかも、カラー画像信号CのR,G,B信号の強度の全てが規定値以上減少する場合には、異物付着であると判定し、そうでないときには、ピンホールが発生したと判定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
薄膜太陽電池用の透明電極膜基板を移動させる移動装置と、移動していく前記透明電極膜基板の表面を撮影するカラーラインセンサカメラと、 前記透明電極膜基板の移動位置を検出する位置検出手段と、 前記カラーラインセンサカメラにより透明電極膜基板を撮影したカラー画像信号の赤成分画像信号と緑成分画像信号と青成分画像信号の強度の状態を検査すると共に、前記カラー画像信号と前記位置検出手段にて検出した移動位置を基に、透明電極膜基板の表面の状態を表す二次元画像を形成し、形成した二次元画像を画像処理することにより、前記透明電極膜基板に存在する欠陥を示す欠陥画像を求める画像処理装置とを有し、 前記画像処理装置は、欠陥画像の面積が予め設定した規定面積よりも小さいときには欠陥が無いと判定し、 欠陥画像の面積が予め設定した規定面積よりも大きく、且つ、赤成分画像信号と緑成分画像信号と青成分画像信号の強度が全て規定値以上減少する挙動をした場合には、異物が付着していると判定し、 欠陥画像の面積が予め設定した規定面積よりも大きく、且つ、赤成分画像信号と緑成分画像信号と青成分画像信号の強度が全て規定値以上減少する挙動をしない場合には、ピンホールが発生していると判定することを特徴とする透明電極膜基板の検査装置。
IPC (3件)：
G01N21/896 ,  G01N21/894 ,  H01L31/04
FI (4件)：
G01N21/896 ,  G01N21/894 Z ,  H01L31/04 H ,  H01L31/04 M
Fターム (19件)：
2G051AA42 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051ED08 ,  2G051ED22 ,  5F051FA02 ,  5F051GA03 ,  5F051KA09
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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