特許
J-GLOBAL ID：200903011941604681
EUVリソグラフィ用の投影系
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
渡邊 隆
, 志賀 正武
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-550445
公開番号（公開出願番号）：特表2004-516500
出願日： 2001年12月06日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：
EUV投影光学系は、物体OBを像IMに結像するための少なくとも6つの反射面を備えている。この光学系は、物体OBから像IMに至る光路に沿って第2の反射鏡M2と第3の反射鏡M3の間に中間像IMIを形成するように構成され、第1の反射鏡M1と第2の反射鏡M2とで第1の光学群G1を形成し、第3の反射鏡M3、第4の反射鏡M4、第5の反射鏡M5および第6の反射鏡M6で第2の光学群G2を形成する。また、この光学系は、好ましくは物体OBから像IMまでの前記光路に沿って第1の反射鏡M1と第2の反射鏡M2の間に位置する開口絞りAPEも備えている。第2の反射鏡M2は凹面状、第3の反射鏡M3は凸面状とされていることが好ましい。6つの反射面はそれぞれ、略15°未満の入射角で、フィールド中心点からの主光線CRを受けることが好ましい。この光学系は、像IMにおいて0.18を超える開口数を有していることが好ましい。
請求項（抜粋）：
物体(OB、OB ́、OB′′)を像(IM、IM ́、IM′′)に結像するための少なくとも6つの反射面を備えるEUV投影光学系であって、物体(OB、OB ́、OB′′)から像(IM、IM ́、IM′′)までの光路に沿って第2の反射鏡(M2、M2 ́、M2′′)と第3の反射鏡の間に中間像(IMI、IMI ́、IMI′′)を形成するように構成され、第1の反射鏡(M1、M1 ́、M1′′)と第2の反射鏡(M2、M2 ́、M2′′)とで第1の光学群(G1、G1 ́、G1′′)を形成し、第3の反射鏡(M3、M3 ́、M3′′)、第4の反射鏡(M4、M4 ́、M4′′)、第5の反射鏡(M5、M5 ́、M5′′)および第6の反射鏡(M6、M6 ́、M6′′)で第2の光学群を形成し、前記第2の反射鏡(M2、M2 ́、M2′′)は凹面状とされ、前記第3の反射鏡(M3、M3 ́、M3′′)は凸面状とされている光学系。
IPC (5件)：
G02B17/00
, G03F7/20
, G21K1/06
, G21K5/02
, H01L21/027
G02B17/00 A
, G03F7/20 503
, G21K1/06 G
, G21K5/02 X
, H01L21/30 531A
, H01L21/30 517
2H087KA21
, 2H087TA00
, 2H087TA02
, 2H087TA06
, 2H097CA15
, 2H097GB01
, 2H097LA10
, 5F046DA12
, 5F046GA03
, 5F046GB01
