特許
J-GLOBAL ID：200903011943200049
被処理物保持体、半導体製造装置用サセプタおよび処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-112523
公開番号（公開出願番号）：特開2003-160874
出願日： 2002年04月15日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：
【要約】【課題】 大気中の酸素による損傷の発生を防止することにより高い信頼性を有すると共に、低コストな被処理物保持体、この被処理物保持体を有する半導体製造装置用サセプタおよびこの被処理物保持体を備える処理装置を提供する。【解決手段】 保持体1は、電極4、ヒータ回路5を有し、被処理物を保持するためのセラミックス基体2と、セラミックス基体2に接続される一方端部を有する筒状部材6と、筒状部材6の内周側に位置し、一方端部側と、一方端部とは筒状部材6において反対側に位置する他方端部側とを隔離する封止部材11と、筒状部材6の内周側において、封止部材11を貫通して他方端部側から一方端部側にまで延在するとともに、電極4、ヒータ回路5に電気的に接続された端子側電極線8とを備える。
請求項（抜粋）：
電気回路を有し、被処理物を保持するためのセラミックス基体と、前記セラミックス基体に接続される一方端部を有する筒状部材と、前記筒状部材の内周側に位置し、前記一方端部側と、前記一方端部とは前記筒状部材において反対側に位置する他方端部側とを隔離する封止部材と、前記筒状部材の内周側において、前記封止部材を貫通して前記他方端部側から前記一方端部側にまで延在するとともに、前記電気回路に電気的に接続された給電用導電部材とを備える、被処理物保持体。
IPC (3件)：
C23C 16/458
, H01L 21/02
, H01L 21/68
C23C 16/458
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/68 R
4K030CA12
, 4K030GA02
, 4K030JA09
, 4K030KA46
, 5F031HA02
, 5F031HA17
, 5F031HA18
, 5F031HA37
, 5F031MA28
, 5F031MA32
, 5F031PA20
