特許

J-GLOBAL ID：200903012023157482

電界放出型冷陰極

発明者： 長尾 昌善 ,  金丸 正剛 ,  池田 伸一
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-088259
公開番号（公開出願番号）：特開2003-288834
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】 従来の冷陰極においては、電子流がアノード電極に入射したときに、アノード表面に吸着している残留ガスもしくはアノード電極そのものの材料の一部が脱ガスし、真空環境を悪化させる。このとき、H2OやCO2など酸素を含む材料が放出されると、放出電流が時間とともに著しく減少し、寿命が短くなることが知られている。【解決手段】 Sr2RuO4などのストロンチウム・ルテニウム酸化物は、大気中で融点(〜2000°C)付近まで、分解や酸化、還元されず、室温で持つ導電性が維持される。すなわち、これ以上酸化されない。本願発明は、Sr2RuO4, SrRuO3,RuO2, IrO2, Sr4Ru3O10, CaRuO3, BaRuO3, LaNiO3, La3Ni2O7, ReO3, SrFeO3,SrCoO3, SrIrO3などの、高温でも不定比性が殆ど無い、安定な酸化物導電性材料を冷陰極の材料として用いることで上記問題を解決した。

請求項（抜粋）：

電界放出型冷陰極において、電気抵抗率が室温において10Ωcm以下である酸化物導電性材料を電子放出源としたことを特徴とする電界放出型冷陰極。

IPC (2件)：

H01J 1/304 ,  H01J 31/12

FI (2件)：

H01J 31/12 C ,  H01J 1/30 F

Fターム (7件)：

5C036EE01 ,  5C036EE02 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH11

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電子エミッタ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平11-509828   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド