プラズマ反応容器及びガスプラズマ分解方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：栗原浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-140287
公開番号（公開出願番号）：特開2001-314752
出願日： 2000年05月12日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：

【要約】【課題】反応容器内を通過するガスの流速分布を均一とし、高流速部(空間中心部)のプラズマ中におけるガスの滞在時間を長くすることによって、反応の高効率化を図る。【解決手段】相対向する第1の平板型電極及び第2の平板型電極と、これら第1及び第2の電極間に介装される誘電体と、前記第1及び第2の電極間に電位差を付与する電位差付与手段とを備えてなり、前記第1及び第2の電極間に高電圧を印加して導入したガスを電極間のプラズマ分解領域で分解するプラズマ反応容器において、前記誘電体の表面の両面またはいずれか一方に凸状部を複数形成する。

請求項（抜粋）：

相対向する第1の平板型電極及び第2の平板型電極と、これら第1及び第2の電極間に介装される誘電体と、前記第1及び第2の電極間に電位差を付与する電位差付与手段とを備えてなり、前記第1及び第2の電極間に高電圧を印加して導入したガスを電極間のプラズマ分解領域で分解するプラズマ反応容器において、前記誘電体の表面の両面またはいずれか一方に凸状部を複数形成してなることを特徴とするプラズマ反応容器。

IPC (4件)：

B01J 19/08 , H05H 1/24 , H05H 1/46 , C01B 31/18

FI (4件)：

B01J 19/08 E , H05H 1/24 , H05H 1/46 M , C01B 31/18 A

Fターム (11件)：

4G046JA04 , 4G046JB01 , 4G046JB21 , 4G075AA03 , 4G075BA01 , 4G075BA05 , 4G075CA47 , 4G075EB42 , 4G075EC21 , 4G075FA05 , 4G075FC15

引用特許：

審査官引用 (5件)

ガス処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-082230 出願人：三菱電機株式会社
特開平4-198003
特開昭63-291803

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