特許
J-GLOBAL ID：200903012047665934
レーザ加工用クリーナ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-218376
公開番号（公開出願番号）：特開平11-057631
出願日： 1997年08月13日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：
【要約】【課題】可撓性基板に付着したレーザー加工残滓を、ドライな状態で基板に傷等のダメージを与えることなく除去でき、また交換周期が長いレーザ加工用クリーナを提供する。【解決手段】レーザ加工処理された可撓性基板表面1に付着しているレーザ加工残滓を除去するレーザ加工クリーナにおいて、前記加工残滓が付着した面側に配された、表面が柔らかく弾力性のある円筒形状のクリーニングローラ6と、このクリーニングローラと対向してこの反対面側に配された、クリーニングローラより硬い材質で形成した回転自在な円筒状の押さえローラ7とからなり、これら両ローラは前記可撓性基板を押しつけ合いながら挟み、クリーニングローラは回転しながら前記加工残滓が付着した面を擦り、前記加工残滓を除去する。レーザ加工装置は送り室2、加工室3、クリーニング室4、巻取り室5より構成されている。
請求項（抜粋）：
レーザ加工処理された可撓性基板表面に付着しているレーザ加工残滓を除去するレーザ加工クリーナにおいて、前記加工残滓が付着した面側に配された、表面が柔らかく弾力性のある円筒形状のクリーニングローラと、このクリーニングローラと対向してこの反対面側に配された、クリーニングローラより硬い材質で形成した回転自在な円筒状の押さえローラとからなり、これら両ローラは前記可撓性基板を押しつけ合いながら挟み、クリーニングローラは回転しながら前記加工残滓が付着した面を擦り、前記加工残滓を除去することを特徴とするレーザ加工用クリーナ。
IPC (7件)：
B08B 1/04
, B08B 11/00
, B08B 15/04
, B23K 26/00
, B23K 26/16
, F26B 5/14
, H01L 31/04
B08B 1/04
, B08B 11/00
, B08B 15/04
, B23K 26/00 H
, B23K 26/16
, F26B 5/14
, H01L 31/04 T
