特許
J-GLOBAL ID:200903012056676906

光波検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 前田 弘 ,  小山 廣毅 ,  竹内 宏 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  原田 智雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-007942
公開番号(公開出願番号):特開2005-201760
出願日: 2004年01月15日
公開日(公表日): 2005年07月28日
要約:
【課題】 感熱部を熱的に遮断すると共に、感熱部を堅牢に支持する。【解決手段】 基板(30)には、感熱部(20)を中空保持するための保持空間(12)を有する基板側絶縁層(50)が積層されている。基板側絶縁層(50)には、感熱部(20)が取り付けられる感熱部側絶縁層(70)が保持空間(12)に位置するように絶縁材よりなる支持脚(60)を介して連接されている。支持脚(60)は、基板側絶縁層(50)に接続された一端から感熱部側絶縁層(70)の裏面に延びている。支持脚(60)は、感熱部(20)の受光面(21)と垂直方向の厚さ寸法sが受光面(21)の方向の幅寸法tより大きい。基板側絶縁層(50)は矩形枠状に形成されている。支持脚(60)は、一端が接続された基板側絶縁層(50)の1の隅角部より感熱部側絶縁層(70)の裏面を通り他端が基板側絶縁層(50)の対向する隅角部に接続され、2つの支持脚(60)が交叉状に配置されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光波を受ける感熱部(20)が配線(11)を介して基板(30)に接続された光波検出装置であって、 上記基板(30)には、感熱部(20)を中空保持するための保持空間(12)を有する基板側絶縁層(50)が積層され、 上記基板側絶縁層(50)には、感熱部(20)が取り付けられる感熱部側絶縁層(70)が上記保持空間(12)に位置するように絶縁材よりなる支持脚(60)を介して連接され、 上記支持脚(60)の少なくとも一部には、上記配線(11)が設けらる一方、 上記支持脚(60)は、基板側絶縁層(50)に接続された一端から感熱部側絶縁層(70)の裏面に延びている ことを特徴とする光波検出装置。
IPC (2件):
G01J1/02 ,  H01L27/14
FI (3件):
G01J1/02 C ,  G01J1/02 Y ,  H01L27/14 K
Fターム (15件):
2G065AB02 ,  2G065BA13 ,  2G065BA14 ,  2G065CA13 ,  2G065CA27 ,  2G065DA20 ,  4M118AA08 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118BA30 ,  4M118CA19 ,  4M118CA35 ,  4M118CB12 ,  4M118GA10
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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