特許
J-GLOBAL ID：200903012098238852

X線管

発明者：
大坂 尚久

大坂 尚久 について


出願人/特許権者：
理学電機株式会社

理学電機株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-115691
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313266
出願日： 2001年04月13日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：
【要約】【課題】 ターゲットの表面上の電子ビーム照射領域内に、目的の波長のX線を発生するX線発生部と、目的の波長のX線をほとんど発生しないベースとを存在させることにより、電子ビーム照射領域よりも小さい焦点サイズを作る。【解決手段】 回転ターゲット10は炭素製の中空円筒状のベース12と環状のX線発生材料14とからなる。環状のX線発生材料14は二つのベース部品の間に挟まれていて、その厚さは1〜10μmと非常に薄い。電子ビーム68が回転ターゲット10の外周面に照射されると、電子ビーム照射領域内に存在するX線発生材料14(例えば、タングステン)のみから目的の波長のX線が発生し、このX線ビーム70がX線取り出し窓72から取り出される。したがって、ターゲット上の焦点サイズの幅は1〜10μmとなる。炭素製のベース12からもX線が発生するが、これはベリリウム製のX線取り出し窓72で吸収されて、X線管の外部には出て行かない。
請求項（抜粋）：
ターゲットに電子ビームを照射して、ターゲットの表面上の電子ビーム照射領域からX線を発生させるX線管において、次の特徴を備えるX線管。(a)前記ターゲットは、前記電子ビームが照射されたときに目的の波長のX線を発生するX線発生部と、前記電子ビームが照射されても目的の波長のX線をほとんど発生しないベースとからなる。(b)前記電子ビーム照射領域の内部には前記X線発生部と前記ベースの両方が存在していて、前記電子ビーム照射領域の内部の前記X線発生部のみから目的の波長のX線が発生する。
IPC (4件)：
H01J 35/08 ,  G21K 5/08 ,  H01J 35/10 ,  H05G 1/52
FI (6件)：
H01J 35/08 C ,  H01J 35/08 B ,  G21K 5/08 X ,  H01J 35/10 C ,  H01J 35/10 H ,  H05G 1/52 A
Fターム (4件)：
4C092AA01 ,  4C092AA13 ,  4C092AB30 ,  4C092BD05
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • X線発生装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-066050   出願人：株式会社マツクサイエンス
  • X線発生装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-207163   出願人：株式会社島津製作所
  • 特開昭52-135695
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