特許

J-GLOBAL ID：200903012102157625

銅または銅合金のエッチング剤ならびにエッチング法

発明者： 小野 秀一郎 ,  中村 幸子
出願人/特許権者： メック株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-169718
公開番号（公開出願番号）：特開2002-363777
出願日： 2001年06月05日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 穏和な条件で銅表面を平滑にするためのエッチング剤及び前記表面を平滑にするエッチング法を提供すること。【解決手段】 液をアルカリ性に保って酸化剤の分解を抑制するヒドロキシルアミン、銅を参加して液中への溶解を促進するための酸化剤、液中にアンモニヤイオンを供給して銅の溶解を促進するアンモニウム塩および垂直方向の銅の溶解を抑制し水平方向の銅の溶解を促進するアゾール化合物を含有する水溶液からなる銅または銅合金のエッチング剤ならびにエッチング方法。

請求項（抜粋）：

ヒドロキシルアミン、酸化剤、アンモニウム塩およびアゾール化合物を含有する水溶液からなる銅または銅合金のエッチング剤。

Fターム (11件)：

4K057WA04 ,  4K057WB04 ,  4K057WE08 ,  4K057WE21 ,  4K057WF01 ,  4K057WF06 ,  4K057WG01 ,  4K057WG02 ,  4K057WM03 ,  4K057WM04 ,  4K057WN01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-102581
  
• 銅または銅合金のマイクロエッチング剤およびそれを用いる表面処理法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-092924   出願人：メック株式会社
• 特開昭48-017439