特許
J-GLOBAL ID:200903078559755855

銅または銅合金のマイクロエッチング剤およびそれを用いる表面処理法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-092924
公開番号(公開出願番号):特開2000-282265
出願日: 1999年03月31日
公開日(公表日): 2000年10月10日
要約:
【要約】【課題】 工程管理の容易な無機酸および銅の酸化剤を主剤とするマイクロエッチング剤であって、新規な助剤を配合することにより、銅または銅合金の表面を粗化し、プリプレグ等との接着性を向上させる。【解決手段】 無機酸および銅の酸化剤からなる主剤と、少なくとも一種のアゾール類および少なくとも一種のエッチング抑制剤からなる助剤とを含む水溶液からなることを特徴とする銅または銅合金のマイクロエッチング剤を用いてエッチングを行う。
請求項(抜粋):
無機酸および銅の酸化剤からなる主剤と、少なくとも一種のアゾール類および少なくとも一種のエッチング抑制剤からなる助剤とを含む水溶液からなることを特徴とする銅または銅合金のマイクロエッチング剤。
IPC (2件):
C23F 1/18 ,  H05K 3/38
FI (2件):
C23F 1/18 ,  H05K 3/38 B
Fターム (28件):
4K057WA05 ,  4K057WB04 ,  4K057WB17 ,  4K057WE01 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE04 ,  4K057WE08 ,  4K057WE25 ,  4K057WE30 ,  4K057WN01 ,  4K057WN02 ,  5E343AA15 ,  5E343AA17 ,  5E343BB24 ,  5E343BB54 ,  5E343BB55 ,  5E343BB67 ,  5E343CC33 ,  5E343CC34 ,  5E343CC35 ,  5E343CC38 ,  5E343CC45 ,  5E343CC46 ,  5E343CC50 ,  5E343EE52 ,  5E343GG02 ,  5E343GG11
引用特許:
審査官引用 (6件)
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