特許

J-GLOBAL ID：200903012106827641

レンズ支持装置、支持方法および投影露光装置

発明者： 柴崎 祐一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332324
公開番号（公開出願番号）：特開平11-149029
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】 大口径のレンズでも均等に支持することができ、レンズの自重による変形がほとんどなく、高性能なレンズもその性能を劣化させることなく支持することができるレンズ支持装置等を提供すること。【解決手段】 円筒部材の内面の円周方向に沿って3ヶ所にほぼ等間隔で第1の支持部を設け、該第1の支持部でレンズ部材の周縁部を支持するレンズ支持装置において、前記第1の支持部に支持されたレンズ部材の周縁部を重力に抗して押し上げつつ支持する第2の支持部を、前記第1の支持部の間に設けている。

請求項（抜粋）：

円筒部材の内面の円周方向に沿って3ヶ所にほぼ等間隔で第1の支持部を設け、該第1の支持部でレンズ部材の周縁部を支持するレンズ支持装置において、前記第1の支持部に支持されたレンズ部材の周縁部を重力に抗して押し上げつつ支持する第2の支持部を、前記第1の支持部の間に設けたことを特徴とするレンズ支持装置。

IPC (3件)：

G02B 7/02 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G02B 7/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-252387   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-166904
  
• レンズ保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-021350   出願人：ミノルタカメラ株式会社

審査官引用 (3件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-252387   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-166904
  
• レンズ保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-021350   出願人：ミノルタカメラ株式会社