移動ステージ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-021967
公開番号（公開出願番号）：特開2005-214804
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】摺動動作を行う接触部に関連する部品要素の摩耗量を極めて低減することにより測定環境を良好に保つと共に高い測定精度を維持し、さらに装置寿命を延長化できる移動ステージ装置を提供する。【解決手段】この移動ステージ装置12は、試料台ステージ13とこの試料台ステージ13を水平方向へ移動させる水平ステージ(10,20)とを備え、水平な摺動面を有する定盤11の上に固定されたものであって、試料台ステージは定盤の摺動面上にすべり軸受で摺動自在に配置され、すべり軸受を成す摺動材30は、そのロックウェル硬さがASTM D785に従って測定した時にR50〜R125の範囲に含まれるものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

摺動面を有する定盤上に移動部を含む移動機構を設けて構成される移動ステージ装置において、前記移動機構の前記移動部は前記定盤の前記摺動面上にすべり軸受で摺動自在に配置され、前記すべり軸受を成す摺動材は、そのロックウェル硬さがASTM D785に従って測定した時にR50〜R125の範囲に含まれるものであることを特徴とする移動ステージ装置。

IPC (2件)：

G12B5/00 , H01L21/68

FI (3件)：

G12B5/00 T , H01L21/68 K , G12B1/00 601H

Fターム (18件)：

2F069AA66 , 2F069BB40 , 2F069DD06 , 2F069MM15 , 2F069RR03 , 2F078CA06 , 2F078CA08 , 2F078CB13 , 2F078CB18 , 2F078CC19 , 2F078CC20 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA53 , 5F031KA06 , 5F031LA01 , 5F031MA33 , 5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (2件)

移動ステージ装置とこの移動ステージ装置を備えた走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-290325 出願人：日立建機株式会社
特開平4-75838号公報

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