特許

J-GLOBAL ID：200903012158437868

位置決め装置

発明者： 高橋 史丈
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 小橋川 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-122106
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317439
出願日： 1998年05月01日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】 直径の大きな位置決め対象物であっても、高精度の位置決めが可能な位置決め装置を提供する。【解決手段】 半導体ウェハ3の中心位置3Aを広視野用光学系ユニット1で検出し、半導体ウェハ3のエッジを狭視野用光学系ユニット2で検出する。半導体ウェハをステージ4上で90度ずつ4回回転させて、各回におけるエッジとステージの回転中心位置との距離を求め、画像処理ユニット(算出手段)により、半導体ウェハの中心位置とステージ回転中心位置とのズレを算出し、位置決めを行う。次に、半導体ウェハのオリフラ3aの位置を狭視野光学系ユニット2を検出し、オリフラ3aの位置とステージの回転中心位置とのズレ量を計算し、θ1 回転させて指定位置に位置決めを行う。

請求項（抜粋）：

載置された円形の位置決め対象物をXYZ軸の各軸方向駆動および該Z軸中心の回転駆動が可能なステージと、該ステージ上の前記位置決め対象物の中心位置を検出する第1検出手段と、前記ステージのZ軸上の回転中心位置に対する距離が予め判明した位置に設置され、前記位置決め対象物の外周縁の90度ずつの4ヵ所の位置で、該外周縁位置と前記ステージ回転中心位置との距離を検出する第2検出手段と、該第2検出手段で検出した4ヵ所の前記外周縁位置と前記ステージ回転中心位置とのそれぞれの距離に基づき、前記位置決め対象物の中心位置と前記ステージ回転中心位置とのズレを算出する算出手段とを備えたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

H01L 21/68 F ,  H01L 21/02 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-081613
  
• 特開平3-012947
  
• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-209040   出願人：宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社