特許
J-GLOBAL ID:200903012177218492
放射線検出装置、シンチレータパネル、及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山下 穣平
, 志村 博
, 永井 道雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-305800
公開番号(公開出願番号):特開2005-148060
出願日: 2004年10月20日
公開日(公表日): 2005年06月09日
要約:
【課題】 蛍光体層表面上で完全に凹凸のなく、さらに蛍光体層内部に存在するスプラッシュのような異常成長部を非常に小さく制御し、特性の良好な放射線検出装置、又はシンチレータパネルを提供する。【解決手段】 基板上に配列された複数の光電変換素子により構成された光電変換部を有するセンサーパネルと、センサーパネル上に設けられた放射線を前記光電変換素子が感知可能な光に変換するシンチレータとを含む放射線検出装置において、シンチレータは、柱状結晶構造を有するシンチレータ層の複数が積層構造を有して構成されている。また、シンチレータのうちの下層のシンチレータ層の表面を平坦化処理し、平坦化処理された表面を有するシンチレータ層上に他のシンチレータ層を堆積する。また、複数のシンチレータ層の層間に光透過性の中間層を設ける。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板上に配列された複数の光電変換素子により構成された光電変換部を有するセンサーパネルと、
前記センサーパネル上に設けられた放射線を前記光電変換素子が感知可能な光に変換するシンチレータとを含む放射線検出装置において、
前記シンチレータは、柱状結晶構造を有するシンチレータ層の複数が積層構造を有して構成されていることを特徴とする放射線検出装置。
IPC (5件):
G01T1/20
, G01T1/202
, H01L27/14
, H01L31/09
, H04N5/32
FI (6件):
G01T1/20 B
, G01T1/20 G
, G01T1/202
, H04N5/32
, H01L31/00 A
, H01L27/14 K
Fターム (38件):
2G088EE01
, 2G088FF02
, 2G088GG14
, 2G088GG16
, 2G088GG19
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ37
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118CA14
, 4M118CB06
, 4M118CB11
, 4M118FB03
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118FB16
, 4M118GA10
, 4M118HA26
, 5C024AX11
, 5C024AX16
, 5C024AX17
, 5C024CX41
, 5C024EX54
, 5C024GX02
, 5F088AB05
, 5F088BA18
, 5F088BA20
, 5F088BB06
, 5F088BB07
, 5F088EA04
, 5F088EA08
, 5F088GA02
, 5F088HA12
, 5F088HA15
, 5F088KA08
, 5F088LA08
引用特許: