特許
J-GLOBAL ID：200903012221082536
真空吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-284929
公開番号（公開出願番号）：特開平10-128633
出願日： 1996年10月28日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：
【要約】【課題】 ゴミが付着する確率を低くし、突起を損傷しにくくする。【解決手段】 緻密なセラミックスからなる装置本体21の上部に多孔質セラミックスからなる真空吸着部22をガラス剤により溶着し、真空吸着部22の上面24に複数の断面が円形であるピン状の微小突起23を設け、装置本体21の真空吸着部22の外側に平面状のシール部28を配設し、微小突起23の上面とシール部28とを同一平面上に高精度に仕上げ加工し、装置本体21の真空吸着部22の下部に真空排気溝25、26を設け、真空排気溝25を中心から放射状に設け、真空排気溝26を装置本体21の外周部に環状に配置しかつ真空排気溝25に連通し、真空排気溝25に連通した真空排気通路27を設け、真空排気通路27を真空ポンプ(図示せず)に連結する。
請求項（抜粋）：
多孔質材料からなる真空吸着部と、上記真空吸着部の外側に配設された環状のシール手段と、上記真空吸着部に接する部分に設けられた真空排気溝とを有する真空吸着装置において、上記真空吸着部の上面に多数の突起を形成したことを特徴とする真空吸着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q 3/08 A
, H01L 21/68 P
