特許
J-GLOBAL ID：200903012229580616

表面検査方法および同装置

発明者：
赤塚 巧

赤塚 巧 について


出願人/特許権者：
昭和電工株式会社

昭和電工株式会社 について


代理人 (4件)： 清水 久義 ,  高田 健市 ,  黒瀬 靖久 ,  清水 義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-374638
公開番号（公開出願番号）：特開2005-208054
出願日： 2004年12月24日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】表面欠陥の検出能力に優れた表面検査方法および同装置等を提供する。【解決手段】検査対象物40の表面欠陥を検出する表面検査法。所定の広がりを有する明領域11と、前記明領域11より暗く、前記明領域11と同じまたは異なる所定の広がりを有する暗領域21とが形成されるように、前記検査対象物40の表面41を照明し、前記明領域11と前記暗領域21とこれらの境界領域22とを通過する連続した検出領域31をラインセンサカメラ30によって撮像する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象物の表面欠陥を検出する表面検査法であって、 所定の広がりを有する明領域と、前記明領域より暗く、前記明領域と同じまたは異なる所定の広がりを有する暗領域とが形成されるように、前記検査対象物の表面を照明し、 前記明領域と前記暗領域とこれらの境界領域とを通過する連続した検出領域をラインセンサカメラによって撮像することを特徴とする表面検査方法。
IPC (2件)：
G01N21/88 ,  G01N21/952
FI (2件)：
G01N21/88 Z ,  G01N21/952
Fターム (7件)：
2G051AA44 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (1件)

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