液面伝送器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-182105
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043223
出願日： 1994年08月03日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】本発明は液面伝送器に関し、センターダイアフラムの零点変化を押さえ、かつ増幅器の構成要素をコンパクトに構成する。【構成】測定流体受圧は単一部品からなる受圧部材のシールダイアフラム取付け穴部と栓で形成され、第二のシールダイアフラムは受圧部の一端にセンタダイアフラムと直角方向に取り付け、第一,第三のセンターダイアフラムはセンターダイアフラムとセンサ部組とを同軸上に設け、第二の受圧室と隔離室,半導体センサは導通路により連通している。同様にプロセス接続ダイアフラムの受圧室と第一の受圧室と第一の隔離室、半導体センサも導通路により連通し、さらに、信号処理器においては、端子板部、ケースを一軸上に設置し、さらに、表示部をも一軸上に設け、このケースを前記受圧部に強固に固定する構成とした。【効果】プロセスの静圧が変化した場合でも、その歪がセンターダイアフラムに伝わらないので零点変化がなく高精度に測定することができる。

請求項（抜粋）：

プロセス流体からの第一の圧力を受圧し、筐体に接合された第一のダイアフラムと、プロセス流体からの第二の圧力を受圧し、筐体に接合された第二のダイアフラムと、前記第一のダイアフラムからの圧力を第一の密閉流体に伝達する第一の受圧室と、前記第二のダイアフラムからの圧力を第二の密閉流体に伝達する第二の受圧室と、前記筐体内に保持され、第一,第二の補償室を形成する第三のダイアフラムと、前記筐体内に保持された差圧センサと、該差圧センサからの信号を処理する信号処理部を備え、前記第一の密閉流体からの圧力は、前記第一の補償室を介して前記差圧センサに伝達され、かつ前記第二の密閉流体からの圧力は、前記第二の補償室を介して前記差圧センサに伝達される液面伝送器において、前記第一のダイアフラム,前記第三のダイアフラム,前記差圧センサ及び前記信号処理部を同軸方向上に形成し、前記差圧センサにプロセス流体からの第一の圧力と、プロセス流体からの第二の圧力とを伝達することを特徴とする液面伝送器。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平4-238236
差圧伝送器
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-251379 出願人：株式会社日立製作所

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