特許

J-GLOBAL ID：200903054139996877

透過波長可変干渉フィルタ及びこれを用いた分光器

発明者： 原 仁 ,  山岸 秀章
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 東野 博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-302478
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142752
出願日： 1997年11月05日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 小型化が可能で入射光のスポット径により分光特性が変化しない透過波長可変干渉フィルタを実現する。【解決手段】 透過波長が可変である透過波長可変干渉フィルタにおいて、互いに平行に保持された一対の基板(7,8)と、この一対の基板(7,8)上に互いに対向すると共に一定間隔を有するように形成された一対の多層膜(9,10)とを備え、外力により一対の多層膜(9,10)間の間隔を変化させる。

請求項（抜粋）：

透過波長が可変である透過波長可変干渉フィルタにおいて、互いに平行に保持された一対の基板(7,8)と、この一対の基板(7,8)上に互いに対向すると共に一定間隔を有するように形成された一対の多層膜(9,10)とを備え、外力により前記一対の多層膜(9,10)間の間隔を変化させることを特徴とする透過波長可変干渉フィルタ。

IPC (3件)：

G02B 26/00 ,  G01J 3/12 ,  G02B 5/28

FI (3件)：

G02B 26/00 ,  G01J 3/12 ,  G02B 5/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-094312
  
• 光共振器とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-035741   出願人：矢崎総業株式会社
• 光学的フィルタリング方法および光学フィルター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-314119   出願人：ソニー株式会社