ガス分解処理方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-341542
公開番号（公開出願番号）：特開平11-169645
出願日： 1997年12月11日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】分解効率が改善されたガス分解処理方法を提供する。【解決手段】対向電極間に電界を印加することにより該対向電極間を流通している気体をプラズマ励起させてガス分解処理を行う方法であって、該対向電極間に光触媒作用体が設けられていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

対向電極間に電界を印加することにより該対向電極間を流通している気体をプラズマ励起させてガス分解処理を行う方法であって、該対向電極間に光触媒作用体が設けられていることを特徴とするガス分解処理方法。

IPC (6件)：

B01D 53/32 , B01D 53/86 , B01D 53/86 ZAB , B01D 53/94 , B01J 21/06 , B01J 35/02

FI (7件)：

B01D 53/32 , B01J 21/06 A , B01J 35/02 J , B01D 53/36 D , B01D 53/36 G , B01D 53/36 ZAB J , B01D 53/36 102 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

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