特許
J-GLOBAL ID：200903012288003460
表面性状測定機の校正用治具、表面性状測定機の校正方法、表面性状測定機の校正プログラムおよびこの校正プログラムを記録した記録媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-075529
公開番号（公開出願番号）：特開2004-286457
出願日： 2003年03月19日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】従来、表面性状測定機を校正するには校正対象ごとに校正用治具を交換せねばならず手間と時間を要した。そこで、簡便に、かつ、短時間で表面性状測定機を校正するための表面性状測定機の校正用治具を提供する。【解決手段】被測定物表面上をx方向に走査されかつ被測定物表面の形状に従って変位可能に設けられた測定子と、測定子を移動させる移動手段と、測定子の変位量を変位検出手段とを備えた表面性状測定機を校正する際に用いる表面性状測定機の校正用治具であって、上面に平坦面111を有する基台部110と、基台部110に設けられ平坦面111に対して既知の高さHを有する段差部120と、段差部120とは隙間を隔てかつ並設して基台部110に設けられ段差部120に交差しかつ平坦面111に対して垂直な面内に真円の一部を含む半球部130とを備える。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
少なくとも被測定物表面上をx方向に走査されかつ前記被測定物表面の形状に従って前記被測定物表面の法線方向であるz方向に変位可能に設けられた測定子と、前記測定子を少なくともx方向に移動させる移動手段と、前記測定子の変位量を少なくともx方向およびz方向について検出する変位検出手段とを備えた表面性状測定機を校正する際に用いる表面性状測定機の校正用治具であって、
一面に平坦面を有する基台部と、
前記基台部に設けられ前記平坦面に対して既知の高さを有する段差部と、
前記段差部とは隙間を隔てかつ並設して前記基台部に設けられ前記段差部に交差しかつ前記平坦面に対して垂直な面内に真円の少なくとも一部を含む第1円状部と、を備えたことを特徴とする表面性状測定機の校正用治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
2F062AA03
, 2F062AA41
, 2F062AA62
, 2F062BB07
, 2F062DD32
, 2F062EE07
, 2F062EE62
, 2F062FF03
, 2F062GG24
, 2F062HH05
, 2F062HH12
, 2F062MM02
, 2F062MM12
