特許
J-GLOBAL ID：200903012296466240
光学式変位センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-224832
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068408
出願日： 1995年09月01日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【課題】 被検面の傾斜による影響を受けにくいピンホールによるダブルビームサイズ法の特長を活かしながら、受光素子の光軸合わせを容易かつ高精度にできるようにすること。【解決手段】 ピンホールによるダブルビームサイズ法による検出光学系の構成をベースとし、2分割された第1,2反射光束を受光する第1及び第2の受光素子11,12を、受光面に円形状の中心受光領域a1,a2とその周囲に位置する4分割受光領域b1〜e1,b2〜e2とを有する5分割受光領域構造のものとし、かつ、第1及び第2の受光素子11,12の出力信号に基づき焦点位置ずれ量Feを算出する第1の演算手段17の他に、第1及び第2の受光素子11,12の各々の4分割受光領域b1〜e1,b2〜e2の出力信号に基づき第1及び第2の受光素子11,12の中心の光軸からのずれ量dx1,dy1,dx2,dy2を各々算出する第2の演算手段20,21を備えた。
請求項（抜粋）：
光源と、この光源から出射された光束を集光させて被検面に照射する対物レンズと、前記被検面から反射されてこの対物レンズを透過した光束を第1反射光束と第2反射光束とに2分割する光束分割手段と、受光面に円形状の中心受光領域とこの中心受光領域の周囲に位置する4分割受光領域とを有して、前記光束分割手段により2分割された一方の第1反射光束の集光点より前側のピンホール位置に配置された第1の受光素子と、この第1の受光素子の受光面と同一の受光面を有して、前記光束分割手段により2分割された他方の第2反射光束の集光点より後側のピンホール位置に配置された第2の受光素子と、これらの第1及び第2の受光素子から得られる出力信号に基づき焦点位置ずれ量を算出する第1の演算手段と、これらの第1及び第2の受光素子の各々の4分割受光領域から得られる出力信号に基づきこれらの第1及び第2の受光素子中心の光軸からのずれ量を各々算出する第2の演算手段と、を有することを特徴とする光学式変位センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 F
, G01C 3/06 P
