特許
J-GLOBAL ID：200903012313266285
インクジェット記録ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-239526
公開番号（公開出願番号）：特開平11-078029
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】 Siの異方性エッチングにより、インク供給口形成のための歩留りが向上し、インク供給口幅のバラッキが低減し、インクの吐出周波数が向上し、サイドシューター型IJヘッドのインク供給口が精度良く、且つ容易に得られる方法の提供。【解決手段】 面方位<100>を有するSi基板上に、インク吐出圧力発生素子、インク液滴吐出のためのノズル、およびインク供給のためのSi異方性エッチングにより形成された貫通口、を少なくとも有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記面方位<100>を有するSi基板の酸素濃度が、1.3E18(atoms/cm<SP>3</SP>)以下であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
請求項（抜粋）：
面方位<100>を有するSi基板上に、インク吐出圧力発生素子、インク液滴吐出のためのノズル、およびインク供給のためのSi異方性エッチングにより形成された貫通口、を少なくとも有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記面方位<100>を有するSi基板の酸素濃度が、1.3E18(atoms/cm<SP>3</SP>)以下であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
引用特許：
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