レーザ発振光オートアラインメント装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：生田哲郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-059821
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236847
出願日： 1995年02月23日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】レーザ光装置に於けるレーザ発振光の断面形状とモードのズレを、安全に、容易に、短時間で、しかもレーザ装置運転中でも矯正しうるレーザ装置を提供する。【構成】レーザ光は、レーザ発振器1から複数枚の伝送ミラー2、5等で伝送され、被加工体13へ導かれる。このレーザ光の一部を、半透ミラーである伝送ミラー2から直接取り出し、取り出されたレーザ光は、スクリーン23に受け可視光に変えられ、レーザ光の断面が可視光として現れる。このレーザ光の断面は、CCDカメラ27に画像として取り込まれる。取り込まれた画像は、パソコン33で画像処理され、目標値とのズレが演算される。その結果を、ズレ矯正信号として出力し、このズレ矯正信号をもとに、多軸コントローラ41を介して、発振器ミラー52、53に取り付けられた揺動装置のモータ54X、54Y、55X、55Yを動かし発振器ミラーを立体的に揺動し、レーザ発振光の断面形状とモードのズレを矯正する.

請求項（抜粋）：

レーザ発振器から発振されたレーザ発振光自身の断面形状とモードを矯正するレーザ発振光オートアラインメント装置であって、レーザ発振器からのレーザ光を直接取り出すための半透ミラーと、この半透ミラーによって取り出されたレーザ発振器からのレーザ光を受け可視光に変えるスクリーンと、スクリーン上の可視光として現れたレーザ光の断面を画像として取り込むCCDカメラと、取り込まれた画像を画像処理技術により処理して目標断面形状と目標モードからのズレを演算しズレ矯正信号を出力する演算処理手段と、ズレ矯正信号をもとにレーザ発振器のミラーを制御するための多軸コントローラと、レーザ発振器のミラーを実際に立体的に揺動する揺動装置と、を備えたことを特徴とするレーザ発振光オートアラインメント装置。

IPC (4件)：

H01S 3/105 , B23K 26/04 , B23K 26/06 , G02B 26/08

FI (4件)：

H01S 3/105 , B23K 26/04 A , B23K 26/06 E , G02B 26/08 E

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-120780
特開平1-152783
特開昭54-091356

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