特許

J-GLOBAL ID：200903012333133028

ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置

発明者： 片町 省三 ,  芝岡 伸治
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-180997
公開番号（公開出願番号）：特開平8-039542
出願日： 1994年08月02日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：

【要約】【目的】運転を停止することなく自動で検知ると共に、信頼性の高い測定結果が得られるワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置を提供する。【構成】ワイヤーソー10のワイヤー14の近傍に基準面62Aが形成されたテーブル62を設置すると共に、前記ワイヤー14を挟んで前記基準面62Aと対向するように測定子64を備えた測定ヘッド66を設置する。測定は、ワイヤー14の往復行の方向転換時で一時的に停止する際、測定子64を基準面62Aに向けて移動させる。そして、ワイヤー14を測定子62とテーブル62の基準面62Aとの間で挟み付け、この時の測定子64の移動変位量に基づいてワイヤー径をCPU70で算出する。これにより、ワイヤーソー10の運転を停止させることなくワイヤー径を確実に測定できると共に、ワイヤー径を直接測定するので信頼性の高い測定値を得ることができる。

請求項（抜粋）：

一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリールの間を往復走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、前記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーにおいて、前記ワイヤーを挟み付ける移動自在な測定子を有すると共に、前記測定子の移動変位量を検出する測定ヘッドと、前記ワイヤーを挟み付けた時の前記測定子の移動変位量に基づいてワイヤー径を算出する演算部と、を備えていることを特徴とするワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置。

IPC (2件)：

B28D 5/04 ,  B24B 27/06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-117060
  
• ウエーハの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-205210   出願人：信越化学工業株式会社