フォーカス合わせ方法、投影露光方法、フォーカス合わせ装置及び投影露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：荒船良男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-351075
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149544
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】空間光変調器を持つ投影露光に使用して有効なフォーカス合わせ方法、フォーカス合わせ装置、投影露光方法及び投影露光装置を提供する。【解決手段】反射面の傾きを独立制御可能な複数のミラーを含んで構成される空間光変調器を使用し、前記空間光変調器に担持されるミラーパターンを反映した光を対象物に照射し、前記対象物での反射光を検出し、その検出された光像のぼけ具合に応じて前記対象物を移動させることによりフォーカス合わせを行う。これにより、簡単にフォーカス合わせができることになる。

請求項（抜粋）：

反射面の傾きを独立制御可能な複数のミラーを含んで構成される空間光変調器を使用し、前記空間光変調器に担持されるミラーパターンを反映した光を対象物に照射し、前記対象物での反射光を検出し、その検出された光像のぼけ具合に応じて前記対象物を移動させることによりフォーカス合わせを行うことを特徴とするフォーカス合わせ方法。

IPC (4件)：

G02B 7/36 , G02B 7/28 , G03F 7/207 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/207 H , G02B 7/11 D , H01L 21/30 526 A , G02B 7/11 M

Fターム (11件)：

2H051AA10 , 2H051BA49 , 2H051BA72 , 2H051CB07 , 2H051CB11 , 2H051CB14 , 2H051CC05 , 5F046BA03 , 5F046DA14 , 5F046DB05 , 5F046DB11

引用特許：

審査官引用 (8件)

画像ディスプレイシステムおよび焦点合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-171897 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
特開平1-263610
特開昭53-075773

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